title
Ütriumoksühüdriidi kapseldamine aatomkihtsadestuse meetodil kasvatatud alumiiniumoksii või titaanoksii õhukeste kiledega
Encapsulation of Yttrium Oxyhydride with Thin Films of AL2O3 or TIO2 Grown by Atomic Layer Deposition
author
Lahtinen, Tero
keywords
magistritööd
master's theses
supervisor
Kriisa, Merike
defence date
28.05.2021
language
est
institution
Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology
faculty
Inseneriteaduskond
School of Engineering
department / college
Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut
Department of Material and Environmental Technology