title
Pooljuhtkilede paksuse mõõtmine ja kaardistamine spektroskoopilise reflektomeetria abil
Semiconductor films thickness measurement and mapping using spectroscopic reflectometer
author
Kukk, Mart
keywords
magistritööd
master's theses
description
Lühikokkuvõte
Abstract
supervisor
Kärber, Erki
Mere, Arvo
defence date
12.06.2015
language
est
rights
Avalikustamisele mittekuuluv lõputöö. Lõputööga on võimalik tutvuda teaduskonnas/asutuses kohapeal
Restricted access. Available at academic unit, please contact staff for more information
institution
Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology
faculty
Matemaatika-loodusteaduskond
Faculty of Science
department / college
Füüsikainstituut
Department of Physics