Vaakumsadestatud PVD-pinnete omadused = Свойства осажденных в вакууме методами ФОП твердых пленок

pealkiri

autor

Rudenja, Sergei

märksõnad

vaakumitehnika

vaakummetallurgia

PVD

magistritööd

kirjeldus

Digiteeritud „Kultuuripärandi digiteerimine 2018–2023“ projekti raames

kaitsmiskuupäev

1993

keel

rus

õigused

http://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/

asutus

Tallinna Tehnikaülikool