pealkiri
Pooljuhtkilede paksuse mõõtmine ja kaardistamine spektroskoopilise reflektomeetria abil
Semiconductor films thickness measurement and mapping using spectroscopic reflectometer
autor
Kukk, Mart
märksõnad
magistritööd
master's theses
kirjeldus
Lühikokkuvõte
Abstract
juhendaja
Kärber, Erki
Mere, Arvo
kaitsmiskuupäev
12.06.2015
keel
est
õigused
Avalikustamisele mittekuuluv lõputöö. Lõputööga on võimalik tutvuda teaduskonnas/asutuses kohapeal
Restricted access. Available at academic unit, please contact staff for more information
asutus
Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology
teaduskond
Matemaatika-loodusteaduskond
Faculty of Science
instituut / kolledž
Füüsikainstituut
Department of Physics