title
Välise jahutuse ja substraadi pöörlemissüsteemidega lähispinnalise sublimatsioonireaktori arendamine
Development of the close-spaced sublimation reactor with the external cooling and substrate spinning systems
author
Pavlov, Ivan
keywords
õhukesed kiled
jahutamine
bakalaureusetööd
Close-spaced sublimation
Thin-film deposition
Cooling
Rotating substrate
bachelor's theses
supervisor
Koltsov, Mykhailo
study program
Integreeritud tehnoloogiad
Integrated Engineering
defence date
09.01.2025
language
eng
institution
Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology
faculty
inseneriteaduskond
School of Engineering
department / college
mehaanika ja tööstustehnika instituut
Department of Mechanical and Industrial Engineering