pealkiri
Välise jahutuse ja substraadi pöörlemissüsteemidega lähispinnalise sublimatsioonireaktori arendamine
Development of the close-spaced sublimation reactor with the external cooling and substrate spinning systems
autor
Pavlov, Ivan
märksõnad
õhukesed kiled
jahutamine
bakalaureusetööd
Close-spaced sublimation
Thin-film deposition
Cooling
Rotating substrate
bachelor's theses
juhendaja
Koltsov, Mykhailo
õppekava
Integreeritud tehnoloogiad
Integrated Engineering
kaitsmiskuupäev
09.01.2025
keel
eng
asutus
Tallinna Tehnikaülikool
Tallinn University of Technology
teaduskond
inseneriteaduskond
School of Engineering
instituut / kolledž
mehaanika ja tööstustehnika instituut
Department of Mechanical and Industrial Engineering