pealkiri
ALD meetodiga kasvatatud TiO2 kilede optilised ja struktuursed omadused
The Optical and Structural properties of TiO2 Thin-Films Grown with the ALD Method
autor
Kumar, Liisa
märksõnad
aatomkihtsadestamine
Atomic layer deposition
titanium dioxide films
kaitsmiskuupäev
keel
allüksus
Laboratory of Thin Film Energy Materials