pealkiri
Alumiiniumnitriidil põhinevate raadiosageduslike mikroelektromehaaniliste lülitite parameetriline analüüs ja optimeerimine
Parametric Analysis and Optimization of AlN-Based RF MEMS Switches
märksõnad
RF MEMS switches
actuation voltage
contact force
eigen frequency
single beam
dual beam
kaitsmiskuupäev
keel